比发丝细千倍！ 苏州园区企业用“纳米画笔”改写光刻技术格局

在苏州工业园区企业苏大维格的无尘实验室里，一台名为“iGrapher3000”的巨型设备正挥动着无形画笔——它以0.1微米的超精度（相当于头发丝的千分之一），在光电子材料表面“绘制”着肉眼不可见的微纳世界。这台全球首款110吋幅面紫外3D直写光刻设备，如同打开新世界的钥匙，正在颠覆柔性显示、AR眼镜等20余个高端制造领域的技术格局。

从受制于人到全球领跑：一部微纳世界的“破壁史”

走进苏大维格展厅，一台白色的紫外三维直写光刻机格外引人注目，研发团队称它为“微纳世界的打印机”。它是制造模板的“创作工具”，能在1平方米基板上“雕刻”出比发丝细千倍的微纳结构。

研发科技部副部长陶志勇举着一款蝴蝶图案的产品介绍，这是运用苏大维格“光场成像”专利技术“打印”出来的，在不同角度能看到不同光影结构，达到裸眼“3D”效果，且材料绿色低碳环保。“这款我们用自主研发的‘光场成像’技术打造的裸眼3D产品，每一平方毫米都藏着上万个精密微结构。”

“过去这类设备完全依赖进口，不仅价格高昂，还面临技术封锁。”陶志勇指着设备介绍，多年来，团队突破高精度数据分层处理和高速扫描聚焦技术，成功研制出多款大型直写光刻设备，助力实现光电子领域关键器件国产化。

三获国奖：为国家安全筑起“纳米防线”

这种“装备自主化”的执着，源于苏州苏大维格科技集团股份有限公司董事长陈林森早年的深刻体验。一直以来，他始终保持着30年前在卡耐基梅隆大学访学时的科研激情。1996年，他在美国卡耐基梅隆大学访学时，目睹了“科研-转化-产业”的高效链条。“我们与国外的差距不仅在技术，更在创新生态。”回国后，他带领团队建立起“理论设计-装备研发-产品制造”的全链条体系，先后攻克面向柔性光电子的微纳制造关键技术与应用、卷对卷微纳压印关键技术及应用、高品质模压全息制版系统与生产技术等“卡脖子”技术，三次斩获国家科技进步二等奖。

2004年，苏大维格研发的纳米光变色技术成功应用于我国第二代身份证，解决了防伪难题，为国家公共安全筑起一道“纳米防线”。如今，从二代身份证到空间成像光学材料，从新能源车牌到裸眼3D光影，企业的核心技术已渗透进国民经济的多个维度。

政产学研“交响乐”：奏响苏州创新最强音

在苏州这片创新创业的热土上，政策支持、生态培育、市场化机制的三重赋能，正助力更多科技企业破茧成蝶。

2022年11月，在苏州市政府的搭桥下，苏大维格牵头联合12家单位，组建了“苏州市新型显示上游器件与关键技术创新联合体”，并承担了重大成果转化项目 。为实现产学研融合，苏大维格与南京大学、苏州大学等单位联合共建的“维格研究院”，构建以人才为主体、平台为基础、市场为导向的技术创新体系，实现前沿技术产业化，让成果进书架、上货架。

园轩